1. 一种高速超结横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于所述晶体 管的元胞结构包括: 半导体第一衬底区; 耐压区,其位于所述半导体第一衬底区的表面上,由相互交替的 对应不同导电类型的半导体第一漂移区和半导体第二漂移区构成,所 述半导体第一漂移区的导电类型与所述半导体第一衬底区相同,所述 半导体第二漂移区的导电类型与所述半导体第一衬底区相反,所述导 电类型为 N 型或者 P 型; 半导体场终止区,其与所述半导体第一衬底区所对应的导电类型 相同并位于所述半导体第一衬底区表面上,在所述半导体场终止区中 设有至少一个与所述半导体第一衬底区所对应的导电类型相反的半 导体集电区且通过在所述半导体集电区的部分表面覆盖导体以构成 所述晶体管的集电极; 半导体体区,其与所述半导体第一衬底区所对应的导电类型相反; 半导体发射区,其与所述半导体第一衬底区所对应的导电类型相同并 位于所述半导体体区内,部分所述半导体体区和部分所述半导体发射 区通过导体相连以构成所述晶体管的发射极; 栅绝缘层,其被覆盖在部分所述半导体发射区、部分所述半导体 体区以及部分所述耐压区的表面,并通过覆盖在所述栅绝缘层表面上 的半导体多晶硅栅区以及部分覆盖在所述半导体多晶硅栅区上的导 体构成所述晶体管的栅电极,所述栅区与所述半导体第一衬底区所对 应的导电类型相同;并由部分所述半导体发射区、部分所述半导体体 区、所述栅绝缘层、所述半导体多晶硅栅区、所述栅电极和部分所述 耐压区构成所述晶体管的栅极结构; 其中,所述半导体第一漂移区和所述半导体第二漂移区相接触且 所构成的接触面分别垂直于所述半导体第一衬底区和所述半导体场 终止区; 所述耐压区与所述半导体场终止区相接触且所构成的接触面垂 直于所述半导体第一衬底区; 所述半导体第一衬底区为重掺杂区; 所述耐压层中半导体第一漂移区的杂质总数小于半导体第二漂 移区的杂质总数,使得耐压层中的等效杂质为第二漂移区的导电类型。

2. 根据权利要求 1 所述的高速超结横向绝缘栅双极型晶体管,其 特征在于: 所述半导体场终止区通过与所述半导体第一衬底区所对应的导 电类型相同的半导体缓冲区与所述半导体集电区接触,其中,所述半 导体缓冲区位于所述半导体场终止区内,所述半导体集电区位于所述 半导体缓冲区内。

3. 根据权利要求 1 所述的高速超结横向绝缘栅双极型晶体管,其 特征在于: 所述半导体场终止区通过与所述半导体第一衬底区所对应的导 电类型相反的半导体辅助区与所述半导体集电区接触,其中,接触面 垂直于所述半导体第一衬底区,所述半导体集电区位于所述半导体辅 助区内,所述半导体辅助区采用与所述半导体第二漂移区相同的杂质 浓度分布。

4. 根据权利要求 1 所述的高速超结横向绝缘栅双极型晶体管,其 特征在于: 所述元胞结构还包括第二衬底区,其位于所述半导体第一衬底区 底面,且掺杂浓度小于所述半导体第一衬底区。

5. 根据权利要求 4 所述的高速超结横向绝缘栅双极型晶体管,其 特征在于: 所述半导体场终止区还通过与所述半导体第一衬底区所对应的 导电类型相同的半导体缓冲区与所述半导体集电区接触,其中,所述 半导体缓冲区位于所述半导体场终止区内,所述半导体集电区位于所 述半导体缓冲区内。

6. 根据权利要求 4 所述的高速超结横向绝缘栅双极型晶体管,其 特征在于: 所述半导体场终止区还通过与所述半导体第一衬底区所对应的 导电类型相反的半导体辅助区与所述半导体集电区接触,其中,接触 面垂直于所述半导体第一衬底区,所述半导体集电区位于所述半导体 辅助区内,所述半导体辅助区采用与所述半导体第二漂移区相同的杂 质浓度分布。

7. 根据权利要求 4 所述的高速超结横向绝缘栅双极型晶体管,其 特征在于: 所述半导体场终止区至少被设置有一个与所述半导体第一衬底 区所对应的导电类型相同的半导体第一隔离区,所述半导体第一隔离 区与所述半导体第一衬底区相接触;所述半导体场终止区与所述半导 体第一隔离区的接触面垂直于所述半导体第一衬底区。

8. 根据权利要求 7 所述的高速超结横向绝缘栅双极型晶体管,其 特征在于: 所述半导体场终止区还通过与所述半导体第一衬底区所对应的 导电类型相同的半导体缓冲区与所述半导体集电区接触,其中,所述 半导体缓冲区位于所述半导体场终止区内,所述半导体集电区位于所 述半导体缓冲区内。

9. 根据权利要求 6 所述的高速超结横向绝缘栅双极型晶体管,其 特征在于: 所述半导体辅助区至少被设置有一个与所述半导体第一衬底区 所对应的导电类型相同的半导体第二隔离区,所述半导体第二隔离区 与所述半导体第一衬底区相接触;所述半导体辅助区与所述半导体第 二隔离区的接触面垂直于所述半导体第一衬底区。

10. 根据权利要求 1 所述的高速超结横向绝缘栅双极型晶体管, 其特征在于: 所述半导体第一衬底区的掺杂浓度大于 1018cm-3。